Dünnschichtmesstechnik

Schichtdicken-Monitor TFM260

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Unser Schichtdicken-Monitor TFM260 für die Messung und Steuerung der Schichtdicke ist auf Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und bietet dennoch alle erforderlichen Funktionen für die manuelle Kontrolle des Abscheidungsprozesses.

Sie können den Schichtdicken-Monitor TFM260 direkt in unserem Onlineshop kaufen.

Eigenschaften & Merkmale

2 hochauflösende Messkanäle; optional bis zu 6 Kanäle
4.3″ Touchscreen Display
Rate/Schichtdicke/Frequenz vs. Zeit Diagramme
6 programmierbare analoge Ausgänge für Rate/Schichtdicke Aufzeichnung oder Leistungskontrolle
4 digitale Eingänge (5 V); 4 Relaisausgänge
D/A und RS232 Schnittstellen-Kompatibilität zu SQM160
Benutzerschnittstellen: RS-232/RS-485 und Ethernet
USB-Anschluss an der Vorderseite für die Speicherung and Firmware Upgrades
Unterstützt eine Quarz-Messbox QMB6 (USB/RS485) direkt und QMB6-PoE Geräte via externem PoE-Switch

Der TFM260-Dünnschichtmonitor mit mehreren Kanälen wird zur Messung von Rate und Dicke in Dünnschichtabscheidungsprozessen verwendet. Das Touchscreen-Display ermöglicht eine intuitive Bedienung und bietet Zeitdiagramme für eine detaillierte Prozesskontrolle. Zwei Sensoreingänge sind Standard und vier zusätzliche Sensoreingänge sind optional. Alle bieten eine hochauflösende Messung von 0,01 Hz bei einer Abtastrate von bis zu 10 Hz. Sechs analoge Ausgänge ermöglichen die Aufzeichnung von Raten und Schichtdicken oder können zur Steuerung der manuellen Stromversorgung beliebiger Beschichtungseinheiten zugewiesen werden. Sensoreingänge können unterschiedlichen Materialien zugeordnet, für zwei Sensoren konfiguriert oder mit Einzelgewichten gemittelt werden. Mit vier Relaisausgängen kann das TFM260 Quellen- oder Sensor-Shutter, Zeit- und Dicken-Sollwerte sowie Quarzsignal-Ausfälle steuern. Digitale Eingänge ermöglichen externe Signale zum Starten/Stoppen der Layer- und Nullwertablesungen.

QCM Sensor Eingang	Standard: 2; optional: 4 oder 6 unter Verwendung von externen Oszillatoren
Frequenzbereich	4 - 6,5 MHz
Frequenz-Auflösung	`±` 0,04 Hz bei 10 reads/sec
Frequenz-Stabilität	`±` 2 ppm, bei 0 °C bis 50 °C
Wählbare Messperiode	`±` 0,10 bis 2 s (in 0,05 s Schritten)
Messfilter	1 bis 20 Messungen mit programmierbarem Alpha-Filter
Gespeicherte Schichten	99
Analoge Ausgänge	6 (0 bis 10 VDC) für Rate/Schichtdicke/Frequenz
Digitale Eingänge/Ausgänge	4 Eingänge (5 V), 8 Relaisausgänge
Serielle Schnittstellen	Extern: RS-232/RS-485 + Ethernet QMB6 Messwertaufnehmer: QMB6-U oder QMB6-4; QMB6-PoE via externerm PoE-Switch
Frontplattenbedienung	4,3“ Touchscreen-Display mit Drehgeber
Leistung	100 - 240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE-Konformität	Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
Gehäuse/Montage	1/2" Schaltschrank, 3-1/2"
Gewicht	3 kg
Windows Software (beiliegend)	Ermöglicht Fern-Setup und Betrieb, Datenaufzeichnung, kann auch mit SQM160 Software betrieben werden

Passiver externer Oszillator inkl. 10 cm BNC Kabel (BT-QM-EO)

BNC-Kabel

Test-Quarz

Broschüre TFM260 -Englisch (780 KB)