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Messquarze
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BeamTec liefert Quarze für die gebräuchlichsten Schichtdicken-Messsysteme wie die 6 MHz, 14mm „Doppelanker“-Quarze (für Inficon, Sycon, Sigma Instruments, McVac,…), 5 MHz, 14mm „Einfach-Anker“ Quarze (für Balzers), 5 MHz, 12,5mm Quarze (für Ulvac / Sloan instruments) und den 8,6 mm Quarz für BeamTecs neuen Rotationsmesskopf COLT24 / QSK24. Als Elektrodenkontaktmaterial kommt Gold / Silber mit einer Chrom-Haftschicht oder Aluminium („Alloy“) zum Einsatz. Die Quarze sind in 3 Qualitätsstufen / Kategorien verfügbar (Premium Economy AT-Cut / Standard AT-Cut / RC™-Cut). Die patentierte Quarzserie RC™ reagiert nicht auf thermische Abstrahlung wie typische AT-Cut Quarze, wodurch erst die höchste Genauigkeit für die Quarzmessung erzielt werden kann!
Über Colnatec LLC
COLNATEC LLC ist ein US-amerikanischer Hersteller, der sich auf Quarze und deren Messtechnik für die Vakuum-Dünnschichttechnik spezialisiert hat. Der technische Direktor von COLNATEC, Scott Grimshaw, der u.a. auch die Alloy-Quarze bei Inficon entwickelt hat, führt dabei die Entwicklung in der Quarz-Messtechnik in die nächste Generation.
Temperatur-unempfindliche RC Quarze
Der patentierte Aufbau der RC™ Quarze ist gegenüber Frequenzverschiebungen aufgrund von thermischer Abstrahlung und Filmstress unempfindlich. Dies wurde durch die eine veränderte Schichtstruktur des Rohquarzes mittels fortschrittlichen Herstellungsbedingungen erreicht.
Bei ultra-dünnen Schichten im 10-100 Angstrom Bereich kann schon die Kombination aus Frequenzverschiebungen, die von Hitze und Stress im Schichtwachstum herrühren, zu einer Abweichung der Schichtdicke von mehr als 100% führen. Das Ergebnis ist dann ein unbeherrschbarer Prozess. Der neu entwickelte RC™ Quarz schwächt diese Effekte nahezu vollständig ab.
Der RC™ Kristall erzeugt beim Öffnen und Schließen der Verdampferblende keine Rateschwankungen. Dies wurde auch bei Tests in unserem Haus eindrucksvoll in einem Vergleich mit einem herkömmlichen AT-Cut Quarz bewiesen.
Typischerweise führt das Öffnen der Blende zu einer Frequenzverschiebung um bis zu 100Hz, was bei einer Aluminiumschicht einer Schichtdicke von ca. 50 Angstrom entspricht. Zudem wird das Frequenzrauschen z.B. aufgrund des Ionenbombardements bei Sputterprozessen deutlich reduziert, da der Kristall gegenüber diesem Stress unempfindlich ist. Dies sind handfeste Vorteile in der Messtechnik von Nanometer Schichtdicken, wie sie u.a. in Prozessen in der Präzisionsoptik, OLED oder high-end Elektronikbauteilen vorkommen.
RC™ Quarze können anstatt der herkömmlichen AT-Cut Quarze in typischen Quarzmessköpfen unter Beibehalten des vorhandenen Messequipments eingesetzt werden.
| Economy Premium | Standard | RC™-Quarz | |
| Temperaturunempfindlich bis über 200° C | nein | nein | ja |
| Kristallschliff | AT Cut +/-2’ | AT Cut +/-0,2’ | RC Cut +/-1’ |
| Elektrodenmaterial | Gold oder Aluminium („alloy“) | Gold, Silber oder Aluminium („alloy“) | Gold, Silber oder Aluminium („alloy“) |
| Frequenz | 6 MHz | 6 MHz / 5 MHz | 6 MHz / 5 MHz |
| Durchmesser | 14.0 mm | 14.0 mm / 12.5 mm / 8.6 mm | 14.0 mm / 12.5 mm / 8.6 mm |
| Kontur | Plano-convex | Plano-convex | Plano-convex |
| Kontaktmaterial | |||
|---|---|---|---|
| Ansicht für Doppelanker Quarz |  |  |  |
| Gold | Silber | Aluminium | |
| 14 mm AT Standard, 6 Mhz | CNT-06IG | CNT-06IS | CNT-06IA |
| 14 mm AT Standard, 6 Mhz | BT-QC06IG | BT-QC06IA | |
| 14 mm RC, 6 Mhz | CNT-06RCIG | CNT-06RCIS | CNT-06RCIA |
| 14 mm AT Standard, 5 Mhz, Einfachanker | CNT-05BG | CNT-05BS | CNT-05BA |
| 14 mm RC, 5 Mhz, Einfachanker | CNT-05RCBG | CNT-05RCBS | CNT-05RCBA |
| 12,5 mm AT Standard, 6 Mhz | CNT-06ISG | ||
| 12,5 mm RC, 6 Mhz | CNT-06RCSG | ||
| 8,6 mm AT, 6 Mhz, vollflächige Rückseite | CNT-86NPG | CNT-86NPA | |
| 8,6 mm RC, 6 Mhz, vollflächige Rückseite | CNT-86RCNPG | CNT-86RCNPA | |
| 12,5 mm RC, 6 Mhz | CNT-06RCSG | CNT-06RCSS | CNT-06RCSA |
| 14 mm AT Standard, 6 Mhz, optimiert für QSK-Messkopf (vergrößerter Frontseitenkontakt) | CNT-06IQG | CNT-06IQS | CNT-06IQA |
| 14 mm RC, 6 Mhz, optimiert für QSK-Messkopf (vergrößerter Frontseitenkontakt) | CNT-06RCIQG | CNT-06RCIQA | |
| 14 mm AT Standard, 6 Mhz, vollflächige Rückseite | BT-QC06NPG | BT-QC06NPA | |
| 14 mm RC Standard, 6 Mhz, vollflächige Rückseite | CNT-06RCNPG | CNT-06RCNPA | |