Elektronenstrahlverdampfer
Mehrtiegelverdampfer
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Die neue SmartBeam Verdampferserie ist sowohl für optische Beschichtungsprozesse als auch für die Metallisierung bei hohen Beschichtungsraten geeignet. Ein effizientes Kühlsystem für den Tiegel und die Ablenkeinheit garantiert den zuverlässigen Betrieb bei anspruchsvollen Produktionsprozessen.
Alle Mehrtiegelverdampfer erzeugen einen kleinen Strahldurchmesser von 3 mm bei minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche.
Der Tiegelantrieb erfolgt mittels eines DC-Motors mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung.
Bei der EB M-Serie befinden sich Motor und Tiegelantrieb auf Atmosphärenseite und sind axial an die Tiegelwelle geflanscht.
Bei der EB S-Serie sind Motor und Tiegelantrieb im Vakuum gekapselt. Dies ermöglicht eine freie Positionierung des Verdampfers innerhalb der Beschichtungskammer.
Eigenschaften & Merkmale
- Magnetsystem mit geringer Induktivität und aktiver Kühlung
- kleiner Strahldurchmesser unabhängig von Position im Tiegel
- atmosphärenseitiger DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung
- Hochleistungs- und LiftOff Filamentblock
- Unterstützung hoher Sweepfrequenzen
- exzellente Kontrolle des Strahls für opt. Materialien
- zuverlässige Tiegelpositionierung mit Blockierschutz
- einfacher Filamentwechsel und lange Filamentlebensdauer
Optionen
- Verdampfereinheit inkl. Motoreinheit frei im Vakuum positionierbar (EB S-Serie)
- Magnetische Tiegelabdeckung für reduzierten Sekundärelektronenbeschuss auf das Substrat
- kundenspezifische Tiegelgeometrien
- Ferrofluid-Drehdurchführungen für Tiegelantrieb (nur bei EB M-Serie); Basisdruck bis 1E-9 mbar
EB M-8 II mit atmosphärenseitigem Motor und Tiegelantrieb
EB S-8 II mit vakuumseitigem Motor und Tiegelantrieb
| EB M-4x4 | EB M-6 II EB S-6 II | EB M-8 II EB S-8 II | EB M-10 II EB S-10 II | |
|---|---|---|---|---|
 |  | |  | |
| Max. Betriebsleistung | 4 kW | 6 kW | 8 kW | 10 kW |
| Hochspannungsbereich | 4 - 10 kV | |||
| Spulenablenkstrom (x/y) | ± 3 A | |||
| Strahldurchmesser | 3 mm, mit minimaler Verzerrung über die Tiegelfläche | |||
| Tiegelantrieb | DC-Motor mit eingebautem Encoder und absoluter Positionsmarkierung EBM-x: Motor und Positionierung an Atmosphäre axial an Tiegelwelle geflanscht EBS-x: Motor und Positionierung im Vakuum gekapselt; Verdampfer frei positionierbar | |||
| Typ. Tiegelkonfiguration | 4 x 4 cm³ | 4 x 8 cm³ 6 x 6 cm³ 8 x 4 cm³ | 4 x 40 cm³ 6 x 20 cm³ 8 x 15 cm³ | 4 x 60 cm³ 6 x 40 cm³ 8 x 20 cm³ |
| Abmessungen Vakuum (H x B x L in mm) : | 120 x 87 x 206 | 130 x 112 x 250 164 x 112 x 282 | 130 x 150 x 304 164 x 150 x 304 | 130 x 190 x 346 164 x 190 x 346 |
 Magnetstromdurchführung |  Hochspannungsdurchführung |
 LiftOff Filamenthalter |  Tiegelantrieb |
Aktuelle Datenblätter erhalten Sie auf Anfrage bei info(at)beamtec.de.