Elektronenstrahlverdampfer
Eintiegelverdampfer
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BeamTec bietet eine vollständige Auswahl an Elektronenstrahlverdampfern für Dünnschichtanwendungen an. Die Produktspanne umfasst Verdampfer sowohl für produktionsorientierte Metallisationsprozesse als auch für optische Abscheidungsanwendungen.
Eigenschaften & Merkmale
- Effizienter Wasserfluss
- Hermetisch dichtes Magnetgehäuse
- Geschlossenes Ablenksystem
- Industriekompatible Abmessungen / Schnittstellen
- Hohe Betreibsleistungen
- Einfache Installation mit herausragender Vakuumverträglichkeit
- Hochleistungs- und LiftOff-Filamentblock
EB1-Nano
Dieser Verdampfer ist für Abscheideanwendungen auf kleinstem Raum konzipiert, ohne auf eine dynamische Strahlablenkung zu verzichten. Eine optionale Flanschmontagebaugruppe kann über einen ISO63K-Flansch von unten eingesetzt werden.
Max. Betriebsleistung 4 kW
Max. Emissionsstrom 500 mA @8 kV
Hochspannungsbereich 6 – 8 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 2 A
Montage ISO63K oder ISO63CF
Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³
EB10-60
Dieses Modell ist für produktionsorientierte Optik- oder Metallisierungsbeschichtungen konzipiert. Mit einer maximalen Tiegelkapazität von 100 cm³ und einer maximalen Betriebsleistung von 10 kW unterstützt die Quelle lange Prozessabläufe bei hohen Verdampfungsraten.
Max. Betriebsleistung 10 kW
Max. Emissionsstrom 1000 mA @10 kV
Hochspannungsbereich 6 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 3 A
Typ. Tiegelkonfigurationen
1 x 30 cm³
1 x 60 cm³
1x 100 cm³
EB-1
Dieses Gerät ist für Abscheideanwendungen in Vakuumsystemen mittlerer Größe konzipiert. Die Quelle verfügt über austauschbare Tiegel, 3/8″ Wasserleitungen für die Kühlung und austauschbare Spulen. UHV-kompatible Versionen sind für eine ultrareine Umgebung verfügbar.
Max. Betriebsleistung 6 kW
Max. Emissionsstrom 600 mA @8 kV
Hochspannungsbereich 6 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A
Typ. Tiegelkonfiguration
1 x 4 cm³
1 x 7 cm³
1 x 15 cm³
EB-5
Dieses Modell ist für produktionsorientierte Metallisierungsbeschichtungen konzipiert. Mit einer maximalen Tiegelkapazität von 100 cm³ und einer maximalen Betriebsleistung von 15 kW unterstützt die Quelle lange Prozessabläufe bei hohen Verdampfungsraten. UHV-kompatible Versionen sind für ultrareine Umgebungen verfügbar.
Max. Betriebsleistung 15 kW
Max. Emissionsstrom 1500 mA @10 kV
Hochspannungsbereich 5 – 10 kV
Spulenablenkstrom (x/y) +/- 1 A
Typ Tiegelkonfiguration
1 x 25 cm³
1 x 40 cm³
1 x 100 cm³
| EB1-Nano | EB10-60 | EB-1 | EB-5 | |
|---|---|---|---|---|
| Max. Betriebsleistung | 4 kW | 10 kW | 6 kW | 15 kW |
| Hochspannungsbereich | 6 - 8 kV | 6 - 10 kV | 6- 10 kV | 6 - 10 kV |
| Max. Emissionsstrom | 500 mA @ 8 kV | 1000 mA @ 10 kV | 600 mA @ 10 kV | 1500 mA @ 10 kV |
| Max. Filamantleistung | 500 W | 500 W | 600 W | 600 W |
| Spulenablenkstrom (x/y) | ± 2 A | ± 3 A | ± 1 A | ± 1 A |
| Tiegelvolumen | 4 x 4 cm³ | 1 x 30 / 60 /100 cm³ | 1 x 4 / 7 / 15 cm³ | 1 x 25/40/100 cm³ |
| Abmessungen Vakuum | 95 mm H x dia 61 mm | 115 mm H x 112 mm W x 226 mm L | 81 mm H x 81 mm W x 127 mm L | 74 mm H x 122 mm W x 276 mm L |
| Gewicht | 1,5 kg | 12 kg | 3 kg | 9 kg |
 Magnetstromdurchführung |  Hochspannungsdurchführung |
Aktuelle Datenblätter erhalten Sie auf Anfrage bei info(at)beamtec.de.