Ionenquellen
Elektronenemitter
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BeamTec bietet verschiedene Arten von KRIs Elektronenquellen mit niedriger Energie und hohem Strom an. Die Technologien der Quellen variieren von einfachen getauchten thermionischen Filamenten bis zu nicht eingetauchten Hohlkathodenemittern. Typischerweise können diese Elektronenquellen in Verbindung mit einer Plasma- oder Ionenquelle sowohl als Kathode als auch als Neutralisator wirken. Ihr Betrieb in Inert- und Reaktivgasumgebungen ist Standard. Der Emissionsstrom unserer Elektronenquellenprodukte wird mit einer Stromrückkopplungsschleife gemessen und gesteuert. Aufgrund dieser präzisen und zuverlässigen Elektronenquelle werden die KRI-Elektronenquellen erfolgreich in elektrostatisch empfindlichen Anwendungen und Umgebungen mit dielektrischem Material eingesetzt.
Neutralisierung von Ionenstrahlen
- DC Gitterionenquellen
- End-Hall-Quellen
- Anode Layer Quellen
Ionisierung bei der Plasmaerzeugung
- End-Hall-Quellen
- DC Gitterionenquellen
Ladungsneutralität in positiv biased Analyseinstrumenten
Verbesserter Elektronenfluss beim Magnetron-Sputtern
BeamTec bietet ein umfassendes Produktpaket an Elektronenquellen. Das Paket enthält alle Komponenten, die für die Installation und den Betrieb der Elektronenquellen erforderlich sind, einschließlich der Elektronenquelle, der Stromversorgungssteuerung, der Massendurchflusssteuerung, der Vakuumdurchführungen und der Kabel.
Filament
Filament Sidewinder
SHC Small Hollow Cathode
MHC Medium Hollow Cathode
LHC Large Hollow Cathode
LDHC Disposable Hollow Cathode
LFN Low Frequency Neutralizer
(Plasma Bridge)
Typischerweise werden die KRI-Elektronenquellenprodukte in einer Materialverarbeitungsumgebung installiert. Üblicherweise werden sie als Neutralisatoren an Ionenstrahlquellen integriert oder sie können in den Ionisationsprozess einer Plasmaentladung integriert werden. In anderen, spezielleren Anwendungen können sie mit Magnetronkathoden installiert werden, um den Sputtervorgang zu modifizieren.
Regulierte Emission
Die an die KRI-Elektronenquellen angelegte Leistung wird streng reguliert, um eine genaue Elektronenproduktion zu gewährleisten. Das Netzteil erzeugt nicht nur den spezifizierten Elektronenstrom, sondern misst und reguliert über eine Rückkopplungsschleife die Elektronenemission. Da die Elektronenemission präzise gesteuert wird, stellen die KRI-Elektronenquellen eine zuverlässige für negative Ladung für die Anwendung dar, die sich an die positive Ladungen anpasst. Ein gründlich neutralisierter Ionenstrahl ist stabil und unterstützt den elektrisch neutralen Prozess auf der Substratoberfläche. Diese Ladungsneutralität ist besonders wichtig, wenn der Prozess dielektrische, elektrisch isolierte oder elektrostatisch empfindliche Substrate umfasst. Wenn ein Prozess mehrere Elektronenquellen verwendet und nicht auf einen regulierten Emissionsstrom angewiesen ist, riskiert der Prozess Ladungsaufbau und Instabilitäten.
Retrofit
Da die KRI-Elektronenquellen in einem umfassenden Produktpaket verfügbar sind, können sie an bereits vor Ort aktiven Ionenquellengeräten nachgerüstet werden. Ein typisches Beispiel ist der Fall, wenn ein Benutzer von einer Ionenquelle, die derzeit mit einem Tauchfilament konfiguriert ist, ein Upgrade auf einen nicht eingetauchten Neutralisator durchführen möchte. Die Möglichkeit, vorhandene Geräte zu verwenden und nur die entsprechenden Elektronenquellenprodukte hinzuzufügen, bietet ein kostengünstiges Upgrade.
Sidewinder
Der eH Sidewinder™ verwendet eine patentierte Technologie, um die Lebensdauer der Filamente über ihre typische Dauer zu verlängern. Diese innovative Technologie bietet die kostengünstige Filamentkonfiguration, ermöglicht jedoch einen längeren Betrieb vor einem Filamentwechsel. Die Sidewinder-Produkte verschieben den Filamentkathoden / Neutralisator von seiner typischen Mittelstellung in eine außermittige Stellung. Da der Faden nicht mehr in den Abschnitt mit hoher Stromdichte des Ionenstrahls eingetaucht ist, wird seine Erosion durch Ionenbeschuss verringert. Durch die Reduzierung des normalen Verschleißmechanismus wird die Lebensdauer der Filamente erheblich verlängert, wodurch das Risiko einer Prozessunterbrechung minimiert wird.
Soft Start
Die Elektronenquellenprodukte verwenden eine Soft Start Funktion, um während des Startens die Leistung der Kathode/des Neutralisators langsam zu erhöhen. Dieser Anstieg glättet den anfänglichen Leistungsstoß, wodurch die Betriebszeit ersetzbarer Heizelemente verlängert wird.
