Plasmastromversorgungen
40 kHz MF-Generatoren
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BDS-MF 5/10/15 kW @ 40kHz, Hoch- /Niedrigspannung AC Plasmaversorgung
Der BDS-MF 40 kHz Plasmagenerator wurde für die Plasmaanregung für Sputter-, PECVD- bzw. Plasmareinigungsprozesse entwickelt. Die Modellreihe umfasst 5 kW, 10 kW und 15 kW Leistungsgeräte, die mit einem nachgeschalteten Transformator bis zu 13000 V Ausgangsspannung (RMS) liefern können.
Das luftgekühlte Grundgerät stellt über 3 ansteuerbare Taps die Ausgangsspannungen 400 V, 650 V und 800 V für Sputterprozesse zur Verfügung. Für PECVD-Prozesse transformiert ein externer HV-Transformator die Spannung auf bis zu 7000 V RMS. Mit der balancierten Ausgangsbeschaltung können dabei bis zu 4 symmetrische Elektroden versorgt werden.
Daneben erlaubt ein spezieller Transformator auch den Einsatz für atmosphärische Plasmen.
Typische Einsatzgebiete:
- PECVD Prozesse in größeren Vakuumanlagen
- Oberflächenaktivierung
- Sputter- und Glimmprozesse bei Kunststoffen und Reflektoren
- atmosphärische Plasmaprozesse
Über BDISCOM Srl
BDISCOM Srl ist ein italienischer Hersteller für Plasma-Prozesstools, die speziell für Anwendungen in Forschung und Industrie entwickelt wurden. Die Produktpalette umfasst Plasmaversorgungen für verschiedene Frequenzbereiche sowie kleinere Plasmaanlagen zur Oberflächenmodifikation.
Eigenschaften & Merkmale
- Weiter Betriebsbereich mit 3 Taps
- ultraschnelles Arc-Handling
- Luftgekühlt
- Analoge + RS232 Schnittstelle / Profibus
- Bedienerfreundlich mit Frontpanel-Anzeige
- Hoher Wirkungsgrad >90%
- Kompakt und leicht, 22 kg, 19″ 4 HE
Modelle & Spezifikationen
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|---|---|---|---|
BDS-MF5k-V2 | BDS-MF10k-V2 | BDS-MF15k-V2 | |
| Max. Ausgangsleistung | 5 kW | 10 kW | 15 kW |
| Max. Ausgangsspannung | 400 V / 650 V / 800 V | 400 V / 650 V / 800 V | 400 V / 650 V / 800 V |
| Zündspannung | 1000 V | 1000 V | 1000 V |
| Max. Ausgangsstrom | 15 A @ Tap 1; 6,5 A @ Tap 3 | 30 A @ Tap 1; 15 A @ Tap 3 | 35 A @ Tap 1; 19 A @ Tap 3 |
| Betriebsmodus | MF 40 kHz mit Pulsoption | MF 40 kHz mit Pulsoption | MF 40 kHz mit Pulsoption |
| Pulszeiten | 1 - 40 ms | 1 - 40 ms | 1 - 40 ms |
| Display | Alphanumerisch LCD 2x40 | Alphanumerisch LCD 2x40 | Alphanumerisch LCD 2x40 |
| Schnittstellen | digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle); RS232; Profibus optional | digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle); RS232; Profibus optional | digital/analog (PE II kompatible Schnittstelle); RS232; Profibus optional |
| Arc Management | ultraschnell über Spannnungsabfall | ultraschnell über Spannnungsabfall | ultraschnell über Spannnungsabfall |
| Versorgungsspannung | 3 x 400 Vac 50 / 60 Hz | 3 x 400 Vac 50 / 60 Hz | 3 x 400 Vac 50 / 60 Hz |
| Abmessungen | 19" , 4HE, 540mm, tief | 19" , 4HE, 540mm, tief | 19" , 4HE, 540mm, tief |