Plasmastromversorgungen

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Bei der BeamTec GmbH erhalten Sie Stromversorgungen für Ihren Plasmaprozess.
Im Programm haben wir zum einen DC und gepulste DC Stromversorgungen, die bis zu 1500 W für 2 angeschlossene Magnetron-Sputterquellen oder Glimmentladungselektroden liefern können. Sie sind auch ideal für Anwendungen, die präzise Beschichtungen bei geringen Beschichtungsraten erfordern, da sie auch bei niedrigen Leistungen (<2 W) stabil betrieben werden können.

Unser italienischer Hersteller BDISCOM hat darüberhinaus leistungsstärkere DC-Versorgungen mit 3, 6 und 20 kW für den industriellen Bedarf im Programm.

Unsere 40 kHz MF Generatoren des Herstellers BDISCOM wurden für die Plasmaanregung in Sputter-, PECVD- bzw. Plasmareinigungsprozessen entwickelt. Mit einem speziellen Transformator ist auch den Einsatz für atmosphärische Plasmen möglich.

Die 13,56 MHz HF Generatoren liefern eine Leistung von 100 W bis 750 W, dadurch sind sie auch für den Betrieb mit kleinen Magnetrons oder in kleineren Kammern geeignet.
Matchboxes passen die Plasmaimpedanz automatisch an die 50 Ohm Impedanz des 13,56 MHz Generators an.

Die BDS-ARC Geräte sind Stromversorgungen, die für Lichtbogenverdampfer (ARC-) Verdampfer mit bis zu 250 A Stromaufnahme eingesetzt werden.
Die BDS-GLOW Geräte sind kompakte Stromversorgungen für Glimmentladungsprozesse.

Ebenfalls bei uns im Programm sind DC-/HF-Umschalter, HF Sperrfilter und Tiefpassfilter des Herstellers Manitou Systems. Sie werden verwendet, um den Ausgang von HF-Stromgeneratoren, Gleichstrom-Sputter-Stromversorgungen oder Impedanzanpassungsnetzwerken umzuschalten und zu verbinden.