Ionenquellen
Stromversorgungen
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BeamTec bietet fortschrittliche Netzteile von Kaufman & Robinson Inc. für Versionen mit und ohne Gitter für DC- und RFICP-Ionenquellen sowie Netzteile für Anode Layer Ionenquellen von BDISCOM Srl.
Netzteiltechnologie
Merkmale und Vorteile
- Primary Switched Controller
- kleines, leichtes Design; schnelles Arc-Handling
- Konstantstrom-Steuermodus
- für stabilen Prozess bei niedrigen Anodenspannungen
- Modulares Stromversorgungssystem
- Individuelle Systemkonfigurationen
Netzteil-Sets für gitterlose Ionenquellen
eH200, eH400, eH1000, eH2000, eH3000, Mark I, Mark II, Mark III
Kathode
20 A, 15 A, 10 A oder 5 A Emissionsstrom
Soft Start
Auto Controller
Systemkontrolle
Gaskontrolle – 4 MFCs
Steuerung offener oder geschlossener Gasregelkreise
Automatische Start/Stop Sequenz
Schutzfunktionen
Arc/Kurzschluss Management
Strom- und Leistungs-Grenzen
Remote Schnittstelle
Isoliert analog und RS-232
Als integriertes Paket oder als einzelne Module erhältlich
Netzteil-Sets für DC Gitterionenquellen
KDC10, KDC40, KDC75, KDC100, KDC160
Switch mode
Low stored energy output
DC discharge power:
Beam
0 A, 1200 V DC
Accelerator
6 A, 600 V
Filament Neutralizer
2 A Emission
Integrated
Auto Controller Schnittstelle
Als integriertes Paket oder als einzelne Module erhältlich
Schutzfunktionen
Arc/Kurzschluss Management
Strom- und Leistungs-Grenzen
Remote Schnittstelle
Isoliert analog & RS-232
Netzteil-Stets für RFICP Ionenquellen
RFICP40, RFICP100, RFICP140, RFICP220, RFICP380
Switch mode
Low stored energy output
RF Discharge Leistung
1 & 2 kW, 2 MHz
Strahl
1.0 A & 2.0 A, 1200 V DC
Accelerator
1.0 A & 2.0 A, 1200V
Neutralisator
2 A Emission
Auto Controller Schnittstelle
Als integriertes Paket oder als einzelne Module erhältlich
Schutzfunktionen
Arc/Kurzschluss Management
Strom- und Leistungs-Grenzen
Remote Schnittstelle
Isoliert analog & RS-232