Vakuum-Drehdurchführungen

BeamTec bietet eine breite Palette von Vakuum-Drehdurchführungen für verschiedene Anwendungen an.
Sie haben dabei die Wahl zwischen 2 verschiedenen Technologien, die sowohl die hermetische Dichtung als auch die Übertragung der Drehbewegung auf vakuumseitige Bauteile sicherstellen.

Ferrofluid-gedichtete Drehdurchführungen

Die hermetische Dichtung wird mittels O-Ringen aus magnetischer Flüssigkeit in der Durchführung erzeugt. Speziell geformte Wellen und Gehäuse in Kombination mit starken Magneten sorgen dafür, dass das Ferrofluid eine reibungsarme und bewegliche, aber dennoch vakuumdichte Barriere formt.

Magnetisch gekoppelte Drehdurchführungen

Die Drehbewegung wird über eine Magnetkupplung von einem atmosphärenseitigen Mechanismus auf die Welle im Vakuum übertragen. Da das Gehäuse aus einem Stück und nur zur Vakuumseite hin geöffnet ist, wird eine hermetische Dichtung gewährleistet. Auch große Drehmomente und hohe Axiallasten können dank starker Magnete übertragen werden.

Typische Anwendungsgebiete sind Vakuumapplikationen, die eine Drehbewegung in Vakuumsystemen wie für Substrathalter, Transportrollen oder Schwenkblenden erfordern.