Vakuum-Drehdurchführungen
magnetisch gekoppelt
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BeamTec hat sein Produktprogramm um eine breite Palette von Drehdurchführungen mit magnetischer Kopplung erweitert. Sowohl Vollwellen-Drehdurchführungen als auch Modelle mit Hohlwellen sind verfügbar. Diese Drehdurchführungen sind für hohe Beanspruchung ausgelegt und können die drehende Welle mit bis zu 10 kg belasten.
Die Drehbewegung wird über eine Magnetkupplung von einem atmosphärenseitigen Mechanismus auf die Welle im Vakuum übertragen. Da das Gehäuse aus einem Stück und nur zur Vakuumseite hin geöffnet ist, wird eine hermetische Dichtung gewährleistet. Auch große Drehmomente und hohe Axiallasten können dank starker Magnete übertragen werden.
Typische Anwendungsgebiete sind Vakuumapplikationen, die eine Drehbewegung in Vakuumsystemen wie für Substrathalter, Transportrollen oder Schwenkblenden erfordern.
Eigenschaften & Merkmale
- präzise Übertragung der Rotation
- bis in UHV einsetzbar
- große Drehmomente übertragbar
- hermetisch dichtes Gehäuse
Vollwellen Drehdurchführungen | Hohlwellen Drehdurchführungen | |
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Drehbewegung | Kontinuierlich/90° | Kontinuierlich |
Antrieb | Manuell/Pneumatisch | Manuell/Schrittmotor |
Laser gravierte Skala | 5° Schritte | 1° Schritte |
Ausheizbar bis | 150 °C | 150 °C |
Material | SS 316/NdFeB Magnet | SS 316/NdFeB Magnet |
Welle | 6 mm mit Gewindebohrung | Hohlwelle, 30 mm dia und 58 mm dia |
Gewicht | Manueller Antrieb: ~0,4 Kg Pneumatischer Antrieb: ~0,5 Kg | Hochleistungdesigns 2,6 bis 8,2 Kg |
Montage | NW16CF Flansch | Standard ConFlat Flansch |
Vakuumbereich | bis E-11 mbar | |
Lebensdauer (Umdrehungen) | 1.300.000 | 300.000 |
Max. Drehzahl | 36 rpm | |
Startmoment | 30 Nm | |
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